国外半导体测试公司 半导体测试用手套箱方案

技术方案

1、箱体

1.1 尺寸：一节1200mm（长）x900mm（高）x750mm（下宽）的箱体。

1.2 材质：全不锈钢结构（Type 304），厚度3mm。

1.3 手套口：直径220mm，硬质铝合金材料，经过防腐蚀处理，2个。

1.4 手套：美国North，手套口径8英寸，厚度0.4mm，丁基橡胶材质，2只。

1.5 窗口：倾斜设计的操作面，可拆卸的8mm安全钢化玻璃前窗，耐磨、抗腐蚀、透光性好、采用三元乙丙胶条密封。

1.6 使用时可保持一定的正负压力（-12mbar-12mbar）。

1.7 每节箱体配置有防反射的照明节能灯，光线柔和。

1.8 每节箱体内预置1个多孔电源接线板（电源：220V±10％ 50Hz±10％）

1.9 每节箱体设置4个标准KF-40接口，以便于接入液体、气体、信号等。

1.10 每节箱体内设有2层搁物架，可自由调节高度。

1.11 支架：为防止灰尘，支架做成储物柜形状，支架内主要放置循环风机和净化器密闭循环等；支架含脚轮高950mm，脚轮具有调平、移动、固定等功能。

2、过渡舱

2.1 大过渡舱：1部直径360mm、长600mm圆形大过渡舱位于箱体右侧，活塞门，自动抽气和充气功能，可自行设定抽充次数、时间，电磁阀触摸屏控制，PLC自动完成抽充程序，简单高效；舱门阳极氧化铝材料，竖直操作，带提升机构。

2.2 小过渡舱：位于箱体右侧，规格为：Φ150mmx300mm。

2.3 托盘：大过渡舱内置导轨，有可滑动不锈钢托盘，抛光，可自由移动延伸。

2.4 真空度：≤-0.1MPa（大、小右过渡舱均要求抽真空带显示），选用德国Wika无油真空压力表。

3、循环净化控制系统（安置于箱体下方）

3.1 控制系统

3.1.1 方式：包括自诊断、断电自启动特性，具备压力控制和自适应功能。自动控制、循环控制、密码保护、真空室控制采用LCD显示。控制单元采用德国 Siemens PLC触摸屏，操作菜单可选：中文／英文。

3.1.2 压力控制：控制箱体、过渡舱的压力在某一设定值。

3.1.3 脚踏板：可控制手套箱的压力、方便操作。

3.2 循环净化系统

3.2.1 控制：水、氧控制在≤1ppm。

3.2.2 调节装置：通过PLC触摸式调节（加热、抽空、净化、再生）全过程无需人为监控。

3.2.3 工作气体：N2或Ar（气体循环）。

3.2.4 循环风机：高速变频静音风机，流量0-100m3／h，西门子微处理器控制，经过压力测试的不锈钢装置超低泄漏率使得气体循环系统没有必要连续运作，每运行一段时间便可把手套箱内的水氧杂质维持在1ppm以下，底座加装缓冲装置，有效降低噪音。

3.2.5 单净化柱：5KG德国BASF 除氧材料，5KG美国UOP 高效吸水材料。

3.2.6 净化阀：德国Burkert全自动电气动阀，六个，模块化设计。

3.2.7 真空挡板阀：川北高真空挡板阀，两个。

3.2.7 过滤器：采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器。

3.3、再生系统

用于净化系统再次利用，使其活化；再生需要N2／H2或Ar／H2的混合气体，其中H2占5-10％。

3.4、显示系统

控制单元采用德国 Siemens PLC触摸屏，操作菜单：中文／英文。

4、真空系统

自动气控电镀板；箱内气体自动清洗功能用户设定清洗时间，再触摸屏上点触启动按键，系统将开始清洗箱体，到设定的时间是自动停止。

英国 Edwards RV12 真空泵，抽速为12m3／h，极限真空度≤2x10-1pa，可分别对过渡舱进行抽真空，并可实现随时单独控制。

5、水分析仪（1台，原装进口英国MICHELL）

5.1 测量范围：0-1000ppm

5.2 精度：±1％ ppm

5.3 显示：分析仪的输出连接到PLC，检测数值在触摸屏上显示。

5.4 控制：可以根据用户的设定对气体循环系统进行控制，实现循环降。

5.5 环境：-10℃-50℃

6、氧分析仪（1台，原装进口美国GE）

6.1测量范围可设：0-1000，ppm

6.2环境：-10℃-50℃

6.3精度：±1％ ppm

6.4安装位置：氧传感器安装在箱体上，无论气体循环与否，氧传感器不间断地检测箱体内气氛，显示手套箱内的氧含量。

6.5传感器：电化学电池，其优点是零点准确、漂移小、检测结果受有机溶剂影响小和更换成本低（只更换电化学电池）。

6.6显示：独立显示，同时分析仪的输出连接到PLC在触摸屏上显示，可以设定报警值。

6.7控制：用户可以选择自动循环功能，把手套箱内的氧含量维持在用户的规定范围之内。

7、溶剂过滤系统

利用旁路系统集成到手套箱系统中，可有效去除系统挥发出来的溶剂，防止有机溶剂对净化柱的影响。该系统填装料为高效活性氧化铝，填装量10KG，在柱子的上下方有KF40接口，方便换料，且由于是采用并联的方式介入到手套箱系统所以更换材料时不影响手套箱的使用和氛围，用户经培训后可自行换料，有真空抽口和真空显示。

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