冷场发射扫描电镜原理（场发射扫描电镜介绍及案例分享）

场发射扫描电镜（FESEM）是电子显微镜的一种，其原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析，是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。

扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission)三种，场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧，具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。

1、金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产品的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析;

2、各种材料微区化学成分的定性定量检测;

3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定;

4、机械零件与工业产品的失效分析;

5、镀层厚度、成分与质量测定;

6、生物、医学和农业等领域。

案例1：碳纳米管，石墨SEM形貌观察;

案例2：LED荧光填充物进行成分分析;

案例3：粉末样品的粒度分析测量;

案例4：金属镀层厚度测量;

案例5：金属间化合物观察与测量;

案例6：锡须观察;

案例7：断口分析;

案例8：PCB失效分析（如金，镍面形貌及腐蚀深度）。

1、SEM的二次电子成像分辨率 1.0nm;

2、背散射电子成像分辨率 2.0nm;

3、EDS成分分析的元素范围Be（4）～Cf（98）;

4、分析深度约1μm;

5、检测下限约1%;

6、空间分辨率约1μm。

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