扫描电子显微镜的用途有哪些（什么是超声扫描显微镜）

超声扫描显微镜是工业检测领域利用超声波成像技术检测材料内部缺陷的设备。

Hiwave水浸超声扫描显微镜上海研发中心

如工件生产制造过程中表面或者内部产生的裂纹、缝隙、空洞、气泡、夹杂、虚焊等等人眼难以察觉的缺陷，这时候便可以借助超声扫描显微镜检测出来。超声扫描显微镜检测精度可达微米级别，具有很好的缺陷分辨力。由于超声扫描显微镜检测工件的时候超声波传输依赖介质、常需要将工件放置水槽中供超声探头扫描检测。故也成为水浸超声扫描显微镜。

Hiwave研发的水浸超声扫描显微镜

由于超声成像技术较为先进，所使用的超声频率极高，一般超过15MHZ（目前来说，市面上常用的超声换能器多数频率也不超过5MHZ）且出现较晚。大众可能对超声扫描显微镜还较为陌生。

Hiwave超声扫描显微镜检测工件

但是大家一定熟悉医院里面的B超成像，超声扫描显微镜就是类似原理，但超声扫描显微镜使用的超声频率和检测精度要远远大于B超图像。而且具有多种扫描模式，以及材料内部成像界面。

Hiwave检测半导体缺陷内部图像

早些年，世界上的先进的半导体企业、集成电路企业、如美国IMB公司，微软公司、企业都已经用上他们本国自己研发的超声扫描显微镜设备用来检测他们得到半导体产品内部质量缺陷了、我国当时还没有相关技术与设备，起步较晚，我国企业用到超声扫描显微镜的时候只能高价进口。

Hiwave超声检测设备研发基地

时随着这些年的追赶在先进检测设备方面。目前也取得了较大的进步，我国上海和伍Hiwave智造营是一家科学仪器设备研发基地，毗邻上海交通大学闵行校区，与上海交通大学，浙江大学建立产学研合作关系。和伍Hiwave研发的多项技术设备皆为“卡脖子”技术与设备。小到电感位移传感器、焊膏复合材料等、大到水浸超声扫描显微镜。

Hiwave水浸超声扫描检测半导体

这些年在和伍人Hiwave不断地努力研发中取得了丰厚的成果，其中研发的水浸超声扫描显微镜获得了巨大的成功。被中国科学院，中国物理研究所、国防科技大学、河北工业大学以及华为、比亚迪、中国电子等实验室与企业争先购入。以稳定的设备性能、丰富的扫描模式，高精度的分辨率获得了客户的高度评价。