半导体细分领域产业链和投资机会 半导体设备行业研究与投资分析

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核心内容&投资建议

1、广义检测贯穿整个半导体制程，包括第三方实验检测、缺陷检测( Defect Inspection )与量测 (Metrology) 、测试(Test)等，本篇报告重点聚焦在缺陷检测与量测部分。KLA-Tecnor为半导体制程中检测设备领域的绝对王者，本文深度分析半导体检测设备市 场并借鉴KLA-Tencor的发展历程，梳理国内相关企业进展并给出投资建议。

2、市场规模&分类:

1)芯片制程中检测设备种类多、市场空间大，根据我们测算，预计2020、2021年 全球检测设备市场空间约为66.9、73.5亿美元、中国大陆该市场规模约为16.4、17.6亿美元。同时我们 判断在检测设备中，缺陷检测与量测部分占比分别约为2/3、1/3，则相应2020年全球半导体缺陷检测、 量测设备的市场规模约为44.6、22.3亿美元，2021年分别约为49、24.5亿美元;中国大陆2020年两者分 别约为10.9、5.5亿美元;2021年分别约为11.7、5.9亿美元。

2)制程检测设备有不同的分类方法可以 分为:缺陷检测、物性量测;光学检测、电子束检测等;有图形检测、无图形检、光刻套刻测量等。

3、市场格局:

1)根据SEMI数据，KLA-Tencor在前道全球检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一， 堪称半导体检测设备领域王者，且在所有半导体设备企业中排名第五;其次是应用材料和日立，二者市 占率均超过10%，前三市占率合计达到75%，其他重要企业有Onto(Nanometrics和Rudolph合并而来)、 Nova等。

2)国内半导体检测设备领域，相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在部 分细分领域已取得较大进展，但整体来看国产化率仍非常低(我们判断在5%以下)，可以留给国内企业 的市场空间和挑战并存。

投资建议:

从目前国内主要企业中标情况来看，量测部分(如膜厚测量等设备)已有部分企业能够中标长存等，但缺陷检测部分中标非常少。

赛腾股份(Optima)主要产品为缺陷检测设备， 客户为韩国日本等大型晶圆、芯片制造企业，国内是其未来重点拓展领域，目前国内既有客户包括新晟、 中环、奕斯伟等，未来有望通过扩充产品线、国产化进程加快等方式进入更多客户。

报告节选：

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（报告观点属于原作者，仅供参考。报告来源：华西证券）

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