光刻机是干嘛的(光刻机的简介)

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光,现在小编就来说说关于光刻机是干嘛的?下面内容希望能帮助到你,我们来一起看看吧!

光刻机是干嘛的(光刻机的简介)

光刻机是干嘛的

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。

光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

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