8英寸mems芯片有什么作用（mems芯片是什么）

1.mems芯片是什么意思

mems芯片是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内，比它更小的，在纳米范围类似的技术被称为纳机电系统。

MEMS芯片可以把外界的物理、化学信号转换成电信号，而ASIC是把MEMS芯片产生的电信号进一步处理和传输到下一级电路。

2.mems芯片工艺制程

表面微加工中，采用低压化学气相淀积(LPCVD)这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工艺采用若干淀积层来制作结构，然后释放部件，允许它们做横向和纵向的运动，从而形成MEMS执行器。最常见的表面微机械结构材料是LPVCD淀积的多晶硅，多晶硅性能稳定且各向同性，通过仔细控制淀积工艺可以很好的控制薄膜应力。

3.mems芯片和集成电路芯片区别

mems芯片：可以封装更多的电路。这样增加了每单位面积容量，可以降低成本回和增加功能，见摩尔定律，集成电路中的晶体管数量，每1.5年增加一倍。

集成电路：所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方答面迈进了一大步。