集成电路装备研发（单一研发转入批量生产）

湖南日报全媒体记者 王铭俊 通讯员 张星 严婧 冯冠华

（2月10日，中国电子科技集团公司第四十八研究所厂房内，技术人员调试着集成电路装备。）

2月10日上午，中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称“四十八所”）半导体装备批量制造厂房内，20余台立式和卧式高温炉管装备显示器上，各种参数不停地跳动着。

这些高温炉管装备是制作集成电路的关键装备之一。

“集成电路有多重要？如果把芯片比作一本书，那么半导体就是制作这些书的原材料，而集成电路便是书上的文字和图案。”

制作集成电路，也就像“给芯片刻下不同的文字、绘上不同的图案”。四十八所高级工程师巩小亮告诉记者，由四十八所研制的装备，现已服务于制作集成电路过程中超过半数的工序。

“我们正由传统的单一科研模式转型为科研和生产并重的新型研发模式。”走进明亮洁净的厂房，四十八所所长王平自豪地指向并排林立的批量装备，“以往做科研攻关，我们只需要研发出1台或者2台这样的设备。进入量产阶段后，我们不仅开发设备，而且摸索出成熟工艺交付用户，今年就将出货100台以上。”

“嘀嘀嘀……”一台卧式扩散炉自检系统发出蜂鸣提示。卧式炉管设备课题组组长黄志海通过设备自检显示屏上的弹幕提示，迅速找到工艺模拟异常部位，随之按照弹出的故障排查操作提示进行操作。不到一分钟，设备便恢复正常运作。类似设计，可以简单便捷地帮助用户现场排查并解决故障。

科研与生产相互反哺。“我们近600名工作人员，每天都在精进着各种细小的技术，努力锻造新装备、新产品。”王平介绍，在半导体装备批量制造厂房内进行组装和反复调试后，打上了湖南印记的高温炉管、磁控溅射沉积设备等集成电路关键装备，将运往国内的主要芯片制造企业。

1964年，四十八所在长沙成立。风雨近60载，已发展成为国家第三代半导体技术创新中心（湖南）的牵头单位。“发展第三代半导体，我们与世界领先国家处于并跑的状态。”王平说，四十八所正通过建设国产核心装备技术研发与中试平台，形成完善的装备研发及产业化创新体系，让科学变技术、技术变产品、产品变产业。

[责编:李传新]

[来源:湖南日报]