含磷酸废水回用案例（电子工业含磷酸废液处理方法）

电子工业含磷酸废液的特点及处理方法。康景辉小编今天跟大家一起聊聊电子工业含磷酸废液的特点及处理方法。

一、电子工业含磷酸废液来源

面板行业和集成电路行业是电子工业的典型代表，电子级磷酸在其中应该用广泛，其实际应用工艺中，产生的含磷酸废液有很多不同特性。

在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的制作工艺中，钼铝金属层蚀刻用的蚀刻液主要由磷酸、硝酸及醋酸混合而成，各自的比例介于60% ~ 65%、1%~ 5%、4% ~ 6%。

反应机制主要为：先利用硝酸的强氧化性将铝金属层氧化成氧化铝，再由磷酸与氧化铝反应生成可溶性的磷酸铝，其中醋酸为缓冲溶液，扮演H提供者的角色，使蚀刻率维持稳定。

二、电子工业含磷酸废液的特点

面板和集成电路等电子工业经蚀刻或清洗工艺产生的含磷酸废液的主要成分仍是磷酸（含量≥50%)、硝酸、醋酸的混合物，其中阳离子主要有铝、钼、银和其他微量金属离子2。除有无色透明的以外，该废液还存在多种显色形态，如带灰色悬浮的、浅蓝色澄清的等。

主要原因是在电子工业中为了提升磷酸蚀刻或清洗效果,添加了抑制剂、分散剂等有机活性剂成分。

三、​电子工业含磷酸废液的处理方法

制备磷酸钠盐或铵盐技术

通过活性炭拦截含磷酸废液中的悬浮物并脱色后，添加液碱或者氨气，充分反应后即可得到磷酸钠或铵盐溶液，通过控制中和反应末端pH的方式确定产出盐产品种类，通过分级冷却结晶加离心的方式得到产品。

可以采用废磷酸与废碱液反应，控制pH在9左右时，停止滴加废碱液，通过真空浓缩和结晶的方式最终得到磷酸氢二钠产品。

目前可以通过对工艺的改进保证磷酸氢二钠达到《工业磷酸氢二钠》(HG/T 2965——2009)的要求。由于工艺流程短，资源利用率高,对应设备耐蚀性能需求低，该技术成为含磷酸废液处理的合理工艺方向之一，其中产生的磷酸盐因种类不同而具有不同的市场价值。